E-LMT-XYZ (הויך פּינטלעכקייַט לינעאַר מאָטאָר XYZ אַקס בינע

הייך בינע מיט ויסגעצייכנט סטרייטנאַס און פלאַטנאַס פון באַוועגונג

די ווערטיקאַל בינע פּלאַטפאָרמע פּלאַן גיט ויסגעצייכנט סטרייטנאַס און פלאַטנאַס, מיט בעסער פּעך און יאָ

פאָרשטעלונג קאַמפּערד מיט ווערטיקלי מאָונטעד לינעאַר פּאַזישאַנינג סטאַגעס, ווו די קאַנטילעווערעד מאַסע קענען גרונט

דעפלעקטיאָנס אין די סופּפּאָרטינג לינעאַר בערינגז.

הויך האַכלאָטע לינעאַר באַוועגונג מיט קול סערוואָ מאָטאָרסE-ABVT-Z איז ינעווייניק געטריבן דורך אַ קול שפּול מאָטאָר, יקוויפּט

מיט אַ לופט-פלאָוטינג אַריבערפירן רעלס (קרייַז פּילקע פירן ריילז קענען אויך זיין געוויינט), און ניצט אַ הויך-האַכלאָטע גרייטינג צו פאַרמאַכן

די שלייף, און איז יקוויפּט מיט אַ הויך-פאָרשטעלונג שאָפער צו ענשור די מינימום דיספּלייסמאַנט און ריפּיטאַביליטי פון

די פּאַזישאַנינג בינע.דערגרייכן גרויס פאָרשטעלונג.

קאָמפּיוטער קאָנטראָל, ווייכווארג, פּראָגראַממינג

פּראָדוקט דעטאַל

פֿריִער: E-NFZ240-Z סעריע (ז-אַקס הויך-פּינטלעכקייַט לינעאַר מאָטאָר בינע)

ווייַטער: שטאַרק באַוועגונג קאָנטראָללער און EtherCAT® נעטוואָרק מאַנאַגער אַקס קאָנטראָללער

ספּעציפיקאַציע	LMT-XY-200X200	ABVT-Z20 (לופט שייַכעס רעלס)
מאָטאָר טיפּ	דריי-פאַסע יראָנלעסס מאָטאָר	קול שפּול מאָטאָר +
האַכלאָטע	נאָרמאַל 100nm דיגיטאַל קוואַנטיטי	1vpp אַראָפּ צו 5nm
מאָטאָר שטויס	קעסיידערדיק 60N / שפּיץ 210N	קעסיידערדיק 60N / שפּיץ 210N
מינימום שריט גרייס [נם]	200nm	100nm
רייזע [מם]	200 × 200	10
רעפּעאַטאַביליטי [um]	±0.3
שטעלע אַקיעראַסי [um]	±1	±0.5
פלאַטנאַס [um]	10um	5um
גלייך [um]	1ום	1ום
מאַקסימום גיכקייַט [מם/ס]	500 מם / s	30מם/ס
מאַסע קאַפּאַציטעט [קג]	5 קג (ז אַקס מיט פּנעוומאַטיש קעסיידערדיק קראַפט וואָג וואָג)