די פירמע אָפפערס די נוץ פון גרויס דיפלעקשאַנז און גרויס שפּיגל גרייס אין אַ סאָליד פּעקל.די אַקטואַטאָר איז באזירט אויף פּראָווען קול-שפּול טעכנאָלאָגיע.א געבויט-אין שטעלע באַמערקונגען אַלאַוז עס צו זיין אַקיעראַטלי קאַנטראָולד מיט אַ נאָרמאַל PID קאָנטראָללער.די ווירטואַל ראָוטיישאַן פונט פון אונדזער 2 ד מירערז איז נאָענט צו דער שפּיגל ייבערפלאַך, וואָס מאכט 2 ד סקאַנינג גלייך פאָרויס.מיר פאָרשלאָגן צוויי ניט-רעזאַנאַנט אַקסעס אָדער אַ ניט-רעזאַנאַנט אַקס אין קאָמבינאַציע מיט אַ רעזאַנאַנט אַקס.דער ערשטער אָפּציע איז יידילי סוטאַד פֿאַר וועקטאָר סקאַנינג און פונט & דרייען אַפּלאַקיישאַנז, די יענער איז ידעאַל פֿאַר שנעל ראַסטער סקאַנינג.
ווינקל ראַנגע | ± 25 מרד ~ ± 50 מרד | ± 50 מרד ~ ± 90 מרד | ± 90 מרד ~ ± 140 מרד | >±140מראַד |
שפּיגל סלזע | 100מם | ≤ 75מם | 《 50 מם | ≤ 25מם |
האַכלאָטע | ≤2μ רויט (RMS) | ≤5μראַד (RMS) | 8ורעד (RMS) | ≤ 10urad (RMS) |
פֿאַרמאַכט-שלייף באַנדווידטה | 50 הז ~ 500 הז (@1% רייזע) | |||
שריט ענטפער | 2ms ~ 30ms (@1% טראַוועל) | |||
רעפּעאַטאַביליטי | 2urad 5urad | 5 וראַד ~ 10 וראַד | &וראַד ~ 15μראַד | 10μראַד ~ 20urad |
ארבעטן טעמפּעראַטור | -40℃ ~ 70℃ | |||
סטאָרידזש טעמפּעראַטור | 55 ℃ ~ 85 ℃ | |||
אַנטי-ווייבריישאַן | GJB 150.16A-2009 | |||
אַנטי-פּראַל | GJB 150.18A-2009 |